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        半導體

        • 半導體
        Semiconductor Solutions For Emerging Electronics

        海洋光學為半導體加工中的等離子蝕刻終點監測和膜厚測量提供光學感測解決方案。我們的光譜儀和配件使得芯片設計和制造一線的研究人員、原始設備制造商和集成商受益匪淺。

        解決方案

        我們提供用于半導體工藝實時監測和控制的光譜儀:

        • 腔室滅菌
        • 蝕刻終點監測
        • 膜厚測量
        • 沉積
        • 橢偏檢測
        • 等離子灰化/清潔

         

        光譜儀用于半導體工藝流程監測的優勢

        • 實時測量
        • 設備裝置具有靈活,適用于終點檢測等
        • 穩定性高,在工藝環境中性能可靠
        Silicon Wafer With Microchips

        以經驗和專業知識激發信心

        • 我們擁有數十年的制造經驗,可為我們的半導體和工業合作伙伴鼎力提供支持。
        • 從原型設計到生產的合作伙伴關系。我們盡己所能,為客戶提供全面服務,其中包括設計、優化、擴展和供應。
        • 憑借我們的海洋光學實驗室服務團隊,可完成快速可行性測試和評估。 
        • 值得信賴、十分可靠。我們已經通過 ISO9001:2015 認證,是 Halma FTSE 100 成分股公司之一,擁有超過 30 年的經驗。
        基于光譜的傳感器不僅可用于半導體沉積和蝕刻工藝,還可用于腔室滅菌。這些工具可用于優化晶圓產量和質量。

        高級蝕刻設備工程師 Benedict Delahunty - GlobalFoundries

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        我們的應用專家可針對您棘手問題,幫助您找到答案。

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